Надежность фторированной смазки даикин в полупроводниковом вакуумном оборудовании

В производстве полупроводников вакуумное оборудование требует смазки с исключительной стабильностью. Флурированная смазка даикина с его низкой волатильностью и высокой устойчивостью к тепло и химическим веществам обеспечивает надежную производительность в экстремальных условиях.

1. Особые требования к полупроводниковому вакуумному оборудованию

• Ультра-низколепая волатильностьЧтобы предотвратить загрязнение внутри вакуумных камер.

• Высокая температура и плазмаВыдержать резкие среды обработки.

• ДолговечностьДля непрерывной долгосрочной работы.

2. Ограничения обычной смазки

• Испарение в вакууме, оставляя остатки, которые снижают урожайность.

• Разложение или окисление при высоких температурах.

• Нестабильная смазочная пленка, приводящая к более высоким трениям и износу.

3. Преимущества фторированной смазки даикина

• Выдающаяся вакуумная стабильностьс минимальным испарениями.

• Тепло и химическая устойчивостьПодходит для полупроводниковых процессов.

• Чистая операцияБез остатков улучшение доходности пластины.

• Расширенный срок службыСнижение времени простоя и технического обслуживания.

Заключение

Daikin Fluoranted Grease предлагает непревзойденную надежность для полупроводникового вакуумного оборудования, что делает его важной смазкой для передового производства полупроводников.