موثوقية الشحوم المفلورة بالفلور في معدات فراغ أشباه الموصلات

في تصنيع أشباه الموصلات ، تتطلب معدات الفراغ مواد تشحيم ذات استقرار استثنائي. يضمن الشحوم المفلطفة Daikin ، مع تقلباتها المنخفضة ومقاومة عالية للحرارة والمواد الكيميائية ، أداءً موثوقًا به في ظل الظروف القاسية.

1. مطالب خاصة بمعدات فراغ أشباه الموصلات

• تقلبات منخفضة للغايةلمنع التلوث داخل غرف الفراغ.

• ارتفاع درجات الحرارة والبلازمالتحمل بيئات المعالجة القاسية.

• متانةللتشغيل المستمر على المدى الطويل.

2. حدود الشحوم التقليدية

• التبخر في الفراغ ، وترك المخلفات التي تقلل من العائد.

• التحلل أو الأكسدة تحت درجات حرارة عالية.

• فيلم تزييت غير مستقر يؤدي إلى احتكاك وارتداء أعلى.

3. مزايا الشحوم المفلورة دايكين

• استقرار الفراغ المتميزمع الحد الأدنى من التبخر.

• الحرارة والمقاومة الكيميائيةمناسبة لعمليات أشباه الموصلات.

• عملية نظيفةبدون بقايا ، تحسين العائد على الرقاقة.

• خدمة الخدمة الممتدةيقلل من تكاليف التوقف والصيانة.

خاتمة

يوفر الشحوم المفلورة Daikin موثوقية لا مثيل لها لمعدات فراغ أشباه الموصلات ، مما يجعلها مادة تشحيم أساسية لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.